Parylene 薄膜的制备聚合过程

常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD)，反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应，在固态基体表面直接生成固态物质，进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连甲基碳碳键断裂，生成具有活性的对二亚甲基苯单体，当其从高温环境进入室温环境的沉积室时，不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步：单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。

第一，在真空环境下，固体四氯代对二甲苯环二体在150℃左右升华为气态；
        第二，在650℃左右四氯代对二甲苯环二体裂解成带自由基的活性2,5-二氯对二亚甲基苯；
        第三，在室温(25℃)条件下，游离态的2,5-二氯对二亚甲基苯在固态基材表面沉积聚合，形成一层无针孔的保形性薄膜。

涂覆工艺流程图如下所示：

Parylene薄膜具有厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点，可应用在光电材料、磁性材料、服装及文物保护等领域，因其生物兼容性和生物稳定性，还可以应用在医用领域。然而，需要注意的是，Parylene涂覆对于材料表面的要求比较高，要求附着力好，无杂质，因此在进行涂覆前，必须对物件的表面进行一定预处理，以增加涂覆物件的附着力。

派瑞林镀膜之保护作用

1、抗酸碱腐蚀：能解决受酸性或碱性物质腐蚀的问题

2、低水、气体渗透性、具高屏障效果，能达到防潮、防水、防锈及减缓风化等作用

接触角量测分析:

以接触角测量仪量测，原玻璃基材接触角为35.2°，再以相同玻璃镀Parylene-C薄膜,薄膜厚度132nm，其接触角为89.7°,薄膜厚度提高至210nm或350nm，其接触角为94.4°。

3、耐有机溶剂(不溶解于一般溶剂)

4、膜层无色、具高透明度，不影响产品原本外观。

5、 膜层具防尘、防潮、防水的耐透气性效果，可使产品达到国际性防尘、防水的IP等级规范

Parylene（派瑞林、聚对二甲苯）适用于医疗器械之好处

1、吻合ISO-10993生物试验要求

2、吻合FDA G95-1

3、吻合（RoHS）2002/95/EC

4、生物兼容性和生物稳固性极佳的防化学物、防潮、超强绝缘及防电子阻隔性能、较好的机械强度，耐用且附着优秀微米级涂层厚度均匀可控，可控制厚度降低500A;

5、干膜润滑性

6、优秀光学性能

7、自己无毒，无副产物

8、可承受常规消毒

Parylene能适用于多种应用，如骨钉、一时手术器械、替代型器件、导尿管、制动器、探针、针头及耳蜗植入器。

1.  压力传感器——敏感的电子器件如血压传感器，只需沉积少量Parylene就能充分绝缘，而且少量珍爱涂层不会显明改变这些器件的操作。

2.  心脏辅助器——如心脏起搏器及电震发生器中的细密电子线路，用Parylene封住可以防止其受到生物液体的腐蚀。Parylene也用于珍爱这些器件的金属外壳。

3.  替换性器件——金属器械如复原型人造器件，能用Parylene沉积珍爱从而消弭与显微疏松有关的题目，并对生物液体腐蚀提供珍爱。

4.  骨针——Parylene用于珍爱骨钉和外科器械不受腐蚀，并提供润滑性无需降低尺寸限定。

5.  电子线路——复杂外观贴装及混合电子线路用Parylene沉积后能珍爱其不受水及化学物品侵蚀并提供优秀介电性能。

6.  导尿管——模压抑造的器件如导尿管用Parylene沉积珍爱后可以提供优秀的润滑性并防止生物液的腐蚀。

7.  超声波换能器——用于观测血管内壁微型传感器，用Parylene沉积后，能避免腐蚀及绝缘击穿。

8.  芯棒——用于制造导尿管的正确线型。用Parylene沉积珍爱，Parylene的低摩擦系数有利于制造，它的同等性涂敷性能保证了最终产品的质量。

9.  骨质生长刺激器——用Parylene可使此器件与生物液体隔离，避免腐蚀。人体细胞易于在Parylene沉积外观增加形成雷同结构的薄层组织。

10.  脑部探针——用Parylene可使脑部刺激探针外观润滑，并可使其进行选择性绝缘。

11.  针头——Parylene沉积在针头的外部及内部外观封住金属的显微疏松，并形成一个光滑无气孔的外观。从而削减附着污物的可能性。ParyleneN的渗透力使其特别很是溶易在内部外观渗透形成珍爱层。

12.  套管——用于剖腹手术的细密器械，如有导电金属轴的灼烧套管。用Parylene沉积绝缘后引导射频能量达到尖部的正确区域。

Parylene电气性能

1.薄膜绝缘性能

ParyleneC和ParyleneN的薄膜击穿电压

Parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。图3画出了相干的曲线。对于5个微米（0.0002inch）以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据注解，两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能，即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小，单位厚度的击穿电压一样平常将升高。