【聚焦】电子级高纯、高丰度三氟化硼11市场需求旺盛我国供应能力较弱

2023-03-28 13:52

目前已发现13种硼原子同位素，其中仅有硼10、硼11无任何放射性，属于稳定同位素，且在自然界中存在广泛。

三氟化硼11是一种重要的特种气体材料，可用于高密度微电子芯片、面板、高性能半导体等产业中。作为p型掺杂源，三氟化硼11应用在掺杂、氧化扩散、离子注入、等离子刻蚀、硅/锗外延生长等各个环节，除此之外，三氟化硼11也可用于制造乙硼烷、三氯化硼等化工材料及光纤预制件。

目前已发现13种硼原子同位素，其中仅有硼10、硼11无任何放射性，属于稳定同位素，且在自然界中存在广泛。近年来，高纯度同位素材料在大尺寸芯片制造中应用越来越广泛，三氟化硼11是主要离子注入气体之一，可提高芯片稳定性及抗干扰能力，在我国芯片产业快速发展背景下，三氟化硼11应用需求持续释放，尤其是电子级高纯、高丰度三氟化硼11。

三氟化硼11是半导体、芯片制作过程中的消耗性材料，在全球半导体产业向东转移背景下，国内半导体国内企业对高纯、高丰度的三氟化硼11需求迅速增长，但三氟化硼11生产技术壁垒高、产能低，我国市场需求主要依赖进口。进口三氟化硼11单价高，在中美贸易摩擦背景下，三氟化硼11亟需国产化生产。

根据新思界产业研究中心发布的《2023-2028年中国三氟化硼11行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，近年来，为满足日益扩大的市场需求，我国企业对三氟化硼11的研发力度加大，随着研究深入、制备技术突破，部分企业已实现电子级高丰度三氟化硼11量产。目前国内三氟化硼11相关研发机构或生产企业有上海化工研究院、天津大学、山东合益气体股份、江苏正博诺科技、山东中硼新材料等。

目前上海化工研究院研发的电子级高丰度硼11同位素生产工艺已在山东合益气体股份有限公司实现稳定量产，产品丰度达到99.9%以上。该项目是采用苯甲醚化学交换法生产硼11同位素，其在过程控制、新型填料、反应设计、检测方法等方面均具有自主知识产权，这不仅填补了我国在高丰度硼11同位素产业上的空白，还有利于提高我国半导体特种气体材料供给能力，维护产业链安全。

新思界行业分析人士表示，三氟化硼11属于稳定同位素，作为特种气体之一，三氟化硼11在芯片、半导体、面板等产业中应用广泛。我国是芯片、半导体生产大国，三氟化硼11市场需求空间广阔，但受技术限制，我国电子级高纯、高丰度三氟化硼11供应能力较弱，在中美贸易摩擦下，电子级高纯、高丰度三氟化硼11国产替代需求迫切。

原文标题 : 【聚焦】电子级高纯、高丰度三氟化硼11市场需求旺盛我国供应能力较弱