3、结束语

虽然已经对PTFE - like FC 薄膜的沉积和分析进行了大量的工作， 但许多研究结果显示， 薄膜的表面结构仍较粗糙. 另外， 对等离子体诊断和薄膜沉积过程分析方面的工作还很缺乏， 因此， 对PTFE - like FC 薄膜的生长机理仍需不断地深入研究1 相信随着分析技术的不断提高， 在不久的将来， PTFE - like FC 薄膜技术将会向着实用化方向发展， PTFE - like FC 薄膜材料将会在ULSI 中得到大规模的应用.

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