PECVD
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PECVD法制备高疏水性氟碳聚合物（ a-C：F）薄膜的研究
无论是改变放电压力还是沉积时间，a-C：F薄膜均表现出很强的疏水特性，最大接触角（以普通滤纸为基底）可达137°。a-C：F薄膜的表面粗糙度是影响a-C：F薄膜疏水性的重要因素。
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