使用透射菊池衍射技术时，样品无需向探测器倾斜，水平放置，接收的是透射电子衍射信号，由于电子束与材料相互作用的体积减少，其空间分辨率更高，在10纳米以内，可以实现纳米级表征，对超细晶体材料进行分析。

透射菊池衍射（TKD），基本原理与电子背散射衍射（EBSD）大致相同，但信号接收方式存在差异，也称为透射电子背散射衍射（TEBSD），是用于纳米结构表征领域的一种技术，一般配套扫描电子显微镜（扫描电镜，SEM）使用。

电子背散射衍射（EBSD），利用电子束照射样品，与晶体表面相互作用，当散射出来的电子满足布拉格衍射条件时，形成携带有晶粒方位信息的衍射花样，被探测器收集可分析获得晶体特征信息。

随着材料科学技术进步，多种纳米晶体材料被开发问世，为进一步优化特性，需要在纳米尺度上对材料进行表征。电子背散射衍射可以对纳米晶体材料的晶粒尺寸、结构、取向等进行分析，但一般是微米级表征，空间分辨率有限，最高在20-50纳米之间，不能真正实现纳米结构材料常规分析。

采用电子背散射衍射技术时，被测样品需向探测器倾斜，接收的是背散射电子衍射信号，导致空间分辨率不高。使用透射菊池衍射技术时，样品无需向探测器倾斜，水平放置，接收的是透射电子衍射信号，由于电子束与材料相互作用的体积减少，其空间分辨率更高，在10纳米以内，可以实现纳米级表征，对超细晶体材料进行分析。

根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国透射菊池衍射（TKD）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，透射菊池衍射于2012年首次被提出，所采用的软硬件与电子背散射衍射技术基本相同，由于空间分辨率高，更适用于晶粒较细材料分析，电子背散射衍射则更适用于晶粒较粗材料分析。但透射菊池衍射需要超薄透明样品，以便电子束穿透，样品制备难度更大。

透射菊池衍射技术可以单独使用，也可以与能谱仪（EDS）结合使用，进一步提高分辨率，被广泛应用在纳米晶体材料、超细晶粒材料、功能材料、高度变形材料、地质样品等分析领域，也可对材料氧化腐蚀性能、化学元素形态等进行研究。特别是在金属纳米晶体结构表征方面，透射菊池衍射可以对不锈钢、铁、铝、铜、镍、钛等进行分析，是冶金领域重要分析技术。

新思界行业分析人士表示，扫描电镜是研究材料三维表层构造的重要仪器，下游可应用范围广泛，全球需求持续增长，2023年市场规模达到36.6亿美元。对比电子背散射衍射，透射菊池衍射技术优势明显，需求有望随着扫描电镜普及提高而不断上升。但目前，透射菊池衍射应用比例低，不是扫描电镜常用探测器，未来随着性能升级，其市场增长空间大，特别是在冶金领域具有较大发展潜力。

       原文标题 : 【洞察】透射菊池衍射（TKD）技术优势明显 在冶金领域发展潜力较大