【深度】电子级四甲基氢氧化铵（TMAH）应用前景广阔我国行业正处于稳步成长阶段

2023-07-28 14:57

电子级TMAH主要作为印刷电路板的光刻显影液、硅晶片蚀刻剂、微电子芯片制造中的超纯清洗剂等。

四甲基氢氧化铵，简称TMAH，是一种化学式为C4H13NO的有机化合物，外观呈无色结晶性粉末状，可溶于水和乙醇，在化工、电子、工业清洗、橡胶、塑料等领域应用广泛。根据用途不同，四甲基氢氧化铵可分为工业级四甲基氢氧化铵与电子级四甲基氢氧化铵两大类。

电子级四甲基氢氧化铵，简称电子级TMAH，是指应用于电子领域的四甲基氢氧化铵，是一种四甲基氢氧化铵和水的透明混合液。电子级TMAH主要作为印刷电路板的光刻显影液、硅晶片蚀刻剂、微电子芯片制造中的超纯清洗剂等。

电子级TMAH对纯度、品质要求较高，目前其工业化生产方法主要为离子膜电解法，是指以四甲基碳酸氢铵、氯化四甲基铵等为原材料，经过电解生成四甲基氢氧化铵的方法，具有无氯气产生、产出产品纯度高、无污染、操作简便等优点。

电子级TMAH在半导体领域有着广阔的应用前景，其可作为显影液用于液晶显示器的金属线路板、透明导电膜等部位显影场景，起到对未曝光部分进行去除作用；可作为清洗剂用于有机硅片、微电子芯片清洗场景，起到为封装环节提供洁净的界面条件作用；可作为蚀刻剂用于硅片刻蚀场景，起到加速刻蚀液与硅片表面的反应速率作用。

当前在全球半导体产业向中国转移趋势不断加深背景下，国内集成电路、液晶显示器市场快速发展，进而带动电子级TMAH市场需求不断增加。2022年国内集成电路市场规模已超11000亿元、液晶显示器市场规模已超600亿元。在此背景下，2022年国内电子级TMAH市场需求量已超12万吨，且需求量正以超18%的年均增速保持增长，市场发展前景广阔。

根据新思界产业研究中心发布的《2023-2027年中国电子级四甲基氢氧化铵（TMAH）行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，目前国内具备电子级TMAH量产能力的企业数量还比较少，仅有沧州信联电子材料科技、杭州格林达电子材料、南京元亨化工科技、云南润晶工程技术集团等少数几家。

新思界产业分析人员表示，其中格伦达TMAH显影液产能可达9万吨/年；云南润晶TMAH显影液产品下游客户已覆盖三星、LG等国际面板龙头企业；信联电子电子级TMAH产品已应用到京东方、华星光电、中电熊猫、中芯国际等国内半导体显示龙头企业。目前我国电子级TMAH行业正在稳步成长阶段，未来随着本土企业技术不断升级、创新产品研发进程不断加快，行业有望迎来快速发展的黄金时期。

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