作者：程诺，编辑：小市妹

       在芯片生产过程中，“靶材”是一种必不可少的关键材料，存在工艺不可替代性。

       简单来讲，“靶材”是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，是沉积电子薄膜的原材料，因此也叫“溅射靶材”，多被应用于集成电路、太阳能电池、平板显示等领域。

       近些年，随着全球半导体集成电路产业的快速发展，行业下游应用需求持续旺盛，全球靶材行业市场规模不断扩大，预计到2025年，全球市场规模将有望达到333亿美元，发展空间广阔。

       由于我国靶材产业起步时间较晚，且受到技术、资金和人才等多方面因素的限制，现阶段本土企业与国外先进企业生产技术水平仍相差较大。全球靶材市场长期呈现出寡头竞争格局，CR4市场份额高达80%，日美企业更是在高端靶材领域优势明显。

       不过，近两年，随着国内对靶材等核心关键材料重视程度的提升，国产化靶材研究正不断突破国外技术壁垒，当前部分关键技术指标已达国际先进水平。一些国产厂商已开始在市场上占据起一定份额，并逐步在细分产品或领域挤占国际厂商的市场空间。

       1、江丰电子

       国内高纯度溅射靶材龙头，成立于2005年，主营高纯度溅射靶材以及半导体产业装备机台关键零部件的研发、生产和销售等相关业务，主要产品有钛靶、铝靶、钨钛靶等各种高纯度溅射靶材，多被应用于超大规模半导体集成电路、平板显示、太阳能等领域。

       公司专注深耕半导体靶材领域，当前，其已具备生产高纯度溅射靶材用金属材料（铜、铝、钛和钽等）的技术能力，具有完整的金属材料塑性变形加工生产线及内部组织结构检测设备，在高纯度靶材、材料加工方面拥有较深的技术积累和工艺加工能力。

       同时，坚持自主创新研发，公司突破了晶粒晶向精细调控技术、精密机械加工技术、大面积无缺陷焊接技术、高洁净清洗封装技术等多项集成电路28-7nm技术节点用靶材的关键技术。

       在超大规模集成电路用高纯度金属靶材领域，公司成功打破了日美跨国公司的垄断局面，较大程度上引领了我国半导体靶材领域技术发展，推动关键材料国产化。

       据公司公告，目前，公司高纯度金属溅射靶材产品已实现规模化量产，产品已应用于全球知名半导体厂商的7nm技术节点的芯片制造，且已进入先端的5nm技术节点。

       而凭借领先的技术水平和优质的产品性能，公司产品已逐渐获得众多客户认可，是台积电、SK海力士、联华电子、中芯国际、京东方等全球知名企业的优秀供应商。

       2、安泰科技

       难熔金属先进材料制造商，成立于1998年，主营高端粉末冶金材料及制品、先进功能材料及器件、高品质特钢及焊接材料、节能环保与高端科技服务四大板块业务，产品主要应用于包括半导体及泛半导体、航空航天、高端医疗、核电等领域。

       据官网，发展二十余年，公司始终坚持以先进金属新材料及制品的研发、生产和销售为主营业务。2015年，为打造发展成难熔制品精深加工领域世界龙头，公司推动核心业务转型，通过并购合并等操作，成立了安泰天龙钨钼科技有限公司。

       2020年，公司确立了以“难熔钨钼为核心的高端粉末冶金及制品、稀土永磁为核心的先进功能材料及器件”为两大核心产业。

       在难熔金属领域，公司拥有大型冷等静压机、大型热等静压机、万能试验机、JEOL分析型扫描电子显微镜（带能谱仪）、电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP）等处于行业领先水平的大规模先进生产加工设备和科学分析仪器，可在保证产品质量的同时，为客户提供批量化定制产品。

       在靶材方面，公司相关业务主要由安泰天龙负责，可为半导体领域提供功率器件材料和制作芯片装备的部分难熔金属及其合金靶材产品，产品包括钨及钨合金、钼及钼合金和钽铌系列等，靶材产品主要应用于光伏薄膜太阳能与异质结太阳能电池、半导体和平面显示等领域。

       3、有研新材

       国内半导体靶材龙头，成立于1999年，主要从事超高纯度金属靶材、先进稀土材料、红外光学及光电材料、生物医用材料、稀有金属及贵金属、薄膜材料等新材料的研发、生产与销售等业务，产品主要应用于信息技术、新能源、汽车、高端装备制造、生物医药等新兴产业。

       据官网，成立之初，公司主营半导体材料的生产和销售业务；2014年，公司完成资产重组，主营业务由单一半导体硅料转型向集半导体、稀土、光电、金属、生物医用等材料于一体，后逐步形成了电、磁、光、医四大业务板块。

       其中，在电板块，公司主要从事集成电路用靶材和稀贵金属材料等业务。据年报，当前，公司布局的靶材产品已包括8-12英寸高端集成电路靶材用超高纯铜、铝、钛、钴、钽、贵金属和高纯镍铂合金靶材等，覆盖品类全面，而仅2022上半年，公司就有超70款靶材通过客户验证。

       在超高纯铜及铜合金、钴及贵金属等靶材细分领域，公司当前也已完成从原材提纯到靶材加工的全产业链工艺路线开发，可实现6N高纯铜等靶材原料的自产自供。

       同时，公司自研的12英寸超高纯铜合金靶材等产品也已通过世界一流集成电路企业验证并实现批量供货，是当前国内唯一大规模量产铜靶材并通过头部晶圆厂验证的公司。

       而凭借在靶材产品上拥有的领先优势，公司已积累了众多客户。其中，公司铜系列靶材已在长江存储、中芯国际、华虹、华力等客户全面上量，是国内外众多高端客户最主要的靶材供应商。

       4、阿石创

       国内PVD镀膜材料龙头、溅射靶材产业国产化领军企业，成立于2002年，专注从事PVD镀膜材料的研发、生产与销售等业务，主要产品有蒸镀材料，铜、铝、钛、钼、钽、硅、ITO及各类合金与稀有金属靶材等，应用领域包括光学、节能玻璃、LED、显示面板、光伏与半导体等。

       据官网，成立初期公司以生产蒸镀材料为主。2007年，公司开始布局溅射靶材业务。2010年后，公司持续深度布局靶材领域，并不断开发新的溅射靶材。

       通过持续深耕研究，公司自主研发的高纯钼靶材产品于2015年成功导入一线面板厂、ITO靶材产品于2019年获得中国有色金属工业科学技术奖、半导体芯片用靶材于2020年开始正式投产。

       公司坚持研发创新为本，当前已建有省级镀膜靶材工程技术研究中心和专家工作站，具备真空镀膜机、烧结系统、真空镀膜机、质谱仪等数百台（套）研发和检测设备，掌握了多样化靶材绑定技术、背板精密加工技术等多项丰富的PVD镀膜材料制备工艺技术。

       据年报，深耕PVD镀膜材料二十余年，公司靶材研发体系完善，已自主研发出超200款高端镀膜材料，累计服务全球范围内客户超400家，核心客户有京东方、舜宇光学、华星光电等。

       其中，在平板显示领域，公司已于2022年成功打通了铜、铝靶材等产品原料的自主熔炼，实现金属靶材制备工艺的全流程覆盖。

       5、隆华科技

       国内靶材行业领军企业，当前主要从事电子新材料、高分子复合材料和传统节能换热环保三大板块业务，具体包括靶材、PMI材料、舰用复合材料及复合空冷式换热器、工业/市政水处理等。

       据官网，公司成立于1995年，前期为国内空冷器和冷凝冷却换热设备龙头。2013年，公司开始布局工业水处理业务；2014年，布局转型新材料业务。

       2015年，公司启动“业务全面转型”的中长期发展战略，通过低价并购再内部孵化，正式从专注传统装备及环保的业务模式转型为以靶材、军民融合等新材料产业为主导的业务模式。

       当前，在电子新材料方面，公司相关业务主要由子公司四丰电子和晶联光电负责；高分子复合材料业务方面，由子公司湖南兆恒、海威复材和科博思新材负责；节能环保产业板块，则是由公司装备事业部和中电加美为主。

       在靶材方面，子公司四丰电子具备全世代线用金属溅射靶材的生产供货能力，主要产品有钼、铜、钛、钨及钼合金靶等。其中，在宽幅钼靶材领域，公司是国内少数具备一米以上宽幅钼靶材生产能力的厂商，技术实力已达到世界领先水平，且当前已实现量产供应，是京东方、天马微电子、华星光电等面板企业的国产主力供应商。

       子公司晶联光电是目前国内少数可批量生产TFT用的平面ITO靶材的厂商，掌握着常压氧气氛烧结技术、靶材绑定技术等多项ITO靶材核心制备技术。

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       原文标题 : 下游应用领域需求旺盛，靶材国产化价值凸显，利好哪些企业？